高(gāo)中教學儀器(qì)廠(chǎng)家(jiā)ERSelectronic公

慕尼黑(hēi)2022年(nián)5月(y&←φuè)24日(rì) /美(měi)通(tōn☆‌ ¥g)社/ -- 半導體(tǐ)制(zhì)造業(yè)提☆✔₹ 供溫度管理(lǐ)解決方案的(de)領導者——ERS ele<✔ctronic開(kāi)發了(le)一(yī)種溫度校(xiào)βα•準設備，該設備可(kě)以在晶圓實際針測'∞≥區(qū)域進行(xíng)高(gāo)精确度（低(dī)至30mK∏δ）全自(zì)動測量。目前，被命名為(wèi)ProbeSense™的(d♦₹©e)該設備正在申請(qǐng)技(jì)術(shù)專利。

由一(yī)個(gè)溫度傳感器(qì)組成，安裝在晶圓探針台的(de)探針卡處的(≠>de)ProbeSense™，将在晶圓針測中，遵循探針X∞£YZ軸的(de)移動規律，在保證測試環境相(xiàng)同的(de)情況πβλ下(xià)，對(duì)晶圓表面進行(xíng)多(duō)點溫度測量。ProbeS ‌★ense™将與适配闆一(yī)起交付，實現(xiàn)與行(xíng)業(yè©φ)主流探針台兼容的(de)同時(shí)，滿足客戶的(de)需要(yào)。此外(w✔®‍¶ài)，在ProbeSense™的(de)整套裝備中還( ♣&‌hái)包含一(yī)個(gè)溫度測量儀器(✘↔qì)，該儀器(qì)的(de)精确度已經預先與溫度傳感器(qì×‌)同步校(xiào)準在了(le)mk範圍之內(nèi)。

為(wèi)了(le)進一(yī)步實現(xiàε£λ®n)測量過程無需人(rén)力操作(zuò)的(de)全自('γzì)動化(huà)，探針台中還(hái)将裝載ProbeSense™配套軟件(jiàn)，以在不✘₽λ(bù)同溫度下(xià)，針對(duì)卡盤不(✘₩bù)同位置運行(xíng)測試腳本。MP•φα≈I是(shì)首批在其探針台上(shàng)提供這(zhè)項功能(néng)¥↑≠的(de)探針台制(zhì)造商之一(yī)。

ProbeSense™很(hěn)好(hǎo)的(de)滿足了(le)行(xí$∏♣©ng)業(yè)對(duì)功能(néng)性強、精确度高(gāo)且易于操作(zu"♣×ò)的(de)校(xiào)準工(gōng)具的<↔(de)需求，ERS electronic公司首席技(®≠ ™jì)術(shù)官Klemens Reiδ♦tinger說(shuō)。 我們堅信，已經被多(duō)家(jiā)探針台制(zhì)造商✔§采用(yòng)的(de)該全自(zì)動ProbeSense™将成為(wèi)精度校↕←'€(xiào)準和(hé)溫度均勻性測量領域的(de)規則改寫者。

成功将ProbeSense™集成到(dào)SENTIO®探針台的(de)σ'₽₽MPI公司看(kàn)到(dào)了(le)該設備的(de)€>明(míng)顯優勢：不(bù)僅操作(zuò)上(shàng)直觀便捷，測φ₽± 試速度也(yě)較快(kuài)。由于其全自(z≥←ì)動的(de)特性，還(hái)實現(xiàn)了(le)夜間(jiān∏">)和(hé)周末的(de)持續校(xiào)準，從(cóng)而節省了(le)生(shēng‍♣ε)産時(shí)間(jiān)。Stojan Kanev, MPI公司總αφ經理(lǐ)說(shuō)， ProbeSense™的(de)推出，正是(sh‍₽ì)為(wèi)了(le)更好(hǎo)的(de)滿足客戶在成本控制(zhì)、提高(gα™±♣āo)工(gōng)作(zuò)效率方面的(de)需求。>β€

ERS ProbeSense™現(xiàn)已接受預訂。