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高(gāo)中教學設備儀器(qì)儀表校(xiào)準-報(bào)告全國(gu• ≤ó)認

時(shí)間(jiān):2022-08-31 17:55:10™™ 點擊次數(shù):527
 

廣東(dōng)省世通(tōng)儀器(qì)檢測服務有(yǒu)限公司占地(dì)6畝,實驗室面©™λ積達1200平方米。校(xiào)準源齊全,擁有(yǒu±ε↔)福祿克、惠普、安捷倫、菊水(shuǐ)、新天♦♦₹等大(dà)批進口國(guó)産高(gāo)端儀器(qì),覆蓋校(xiào¥♠)準檢測範圍廣。中心設有(yǒu):力學、長(cháng)度、衡器(qì)、電(di​↓&àn)學、電(diàn)磁、熱(rè)工(gōng)、幾何量、•$≤₹輕工(gōng)物(wù)性等*校(xiào)準檢測實★$α×驗室。本校(xiào)準與檢測中心可(kě)對(duì)以上(shàng)類别範圍的 ™↓≠(de)各國(guó)儀器(qì)和(hé)相(xiàn∞• g)關産品進行(xíng)校(xiào)準和(hé)→$檢測并出具國(guó)際認可(kě)的(de)校(xiào)準證書(shū)或檢測報(bào₹•)告。

長(cháng)度計(jì)量:

長(cháng)度計(jì)量校(xiào)"®®☆準實驗室:量傳曆史*長(cháng)、标準設備*全、檢測維修能 ÷↔(néng)力*強的(de)實驗室,本室共建有(yǒu)φ¶©π量塊、平直度、粗糙度、光(guāng)學儀器♥'× (qì)、測繪儀器(qì)、通(tōng)用(yòng)量具、精密測量、•★'£三坐(zuò)标測量機(jī)、圓度儀、驗光(guāng)标準器(qì)組等共55項™♥α社會(huì)公用(yòng)計(jì)量标準,負責本地(dì)區(qū)的(d &e)幾何量的(de)量值傳遞,提供檢測和(hé)校(xiào)準服務,開★¶£(kāi)展各項目計(jì)量儀器(qì)的(de)檢定、校(xiào)準、修理(☆ εlǐ)。

開(kāi)展的(de)檢定/校(xiào)準項目: 量塊、平晶、幹涉儀、測長(chán‍•εg)儀、經緯儀、水(shuǐ)準儀、測厚儀、坐(zuò)标測長(cháng)機∑≤§(jī)、光(guāng)學計(jì)、投影(yǐng)儀、影(yǐng)像測繪儀、萬能(nén$>g)工(gōng)具顯微(wēi)鏡、電(diàn)動輪廓儀、氣動∞$ ¶量儀、偏擺儀、測微(wēi)儀、液塑限測定儀、直角尺檢定儀、百分(fēn)表檢定儀、千分(fēnλ∞±")表檢定儀、量儀測力儀、水(shuǐ)平儀檢定器(qì)、水(shuǐ)平儀零位檢定器(qì)÷<、測量顯微(wēi)鏡、讀(dú)數(s™♠∑₹hù)顯微(wēi)鏡、金(jīn)相(xiàng)顯 >"↓微(wēi)鏡、光(guāng)學平直儀、水(shuǐ)平尺、電(diàn)子(←∞←™zǐ)水(shuǐ)平儀、合象水(shuǐ)平儀、框式水(shuǐ)平儀、平闆、平尺、寬座角尺♥→&→、刀(dāo)口尺、線紋鋼直角尺、萬能(néng)∑γγα角尺、卡尺、千分(fēn)尺、指示表、內(nèi)徑表、杠杆表、數(shù)顯表、鋼®≠®卷尺、鋼直尺、塞尺、工(gōng)程檢測尺、方箱、環規、螺紋量規、表面粗糙度樣塊、半徑樣闆、螺紋樣£≠"↕闆、滑闆式汽車(chē)側滑檢驗台、輪偏檢測儀、線纜計(jì)米器(qì)•©、線速激光(guāng)測徑。對(duì)有(yǒu)關☆♣長(cháng)度、角度、粗糙度、平面度、線紋、端度、形狀與相(xiàng)互位置的(de)λ¶↔量值進行(xíng)校(xiào)準。

世通(tōng)儀器(qì)關于高(gāo)溫微(wēi)壓力傳≤γ↓π感器(qì)校(xiào)準實的(de)研究

在航天航空(kōng)領域,常常需要(yào)在惡劣‌≤≥環境下(xià)實時(shí)測量環境的(de)各種→↔ ↑相(xiàng)關參量,其中就(jiù)包括微(wēi)小(xiǎo)壓力測量。由于測試工₹≥(gōng)作(zuò)處于高(gāo)溫、高(gāo)熱(rè)流、強電(diàn)磁★↕↓幹擾、劇(jù)烈振動等惡劣的(de)條件(jiàn)下(xià),并且待測壓力微(w ♣₹×ēi)小(xiǎo),此外(wài)還(hái)要(yào)求小>£↑σ(xiǎo)型化(huà)、低(dī)功耗,故而傳統的£∏(de)矽微(wēi)壓力傳感器(qì)已難以滿足測試需求。相(xiàng)比之下(xià)δ&•光(guāng)纖壓力傳感器(qì)有(yǒu)著(zhe) §無可(kě)比拟的(de)優勢:測量精度高(gāo)、抗↕✔™電(diàn)磁幹擾能(néng)力良好(hǎo)、絕緣性能(néng)好(hǎo)、性能(nén♥¶γ¥g)穩定等,因此光(guāng)纖壓力傳感器(qì)*§©λ接近(jìn)測試需求。F-P光(guān‌←σg)纖壓力傳感器(qì)更是(shì)以極高(gāo)的(de)測量靈敏度和&♠♣♣(hé)精度、成熟的(de)微(wēi)壓測量技÷×↓&(jì)術(shù)成為(wèi)*,且隻需在探頭結構上(shàng)輔以耐高(gāo✘γ)溫技(jì)術(shù)手段,使其能(néng)夠适應高(gāo)溫環境,即能(nén₹λφ®g)*終滿足測試的(de)要(yào)求。

高(gāo)溫微(wēi)壓力傳感器(q≥±ì)基于F-P幹涉敏感原理(lǐ),使用(yòng)耐高(gāo)溫材料制(zh™δì)作(zuò)外(wài)殼和(hé)支撐架,部件(jiàn)連接采用(yòng)固體(tǐ€↕←)焊接等耐高(gāo)溫工(gōng)藝,實現(xiàn)了(le)在無引壓管情¶>α‌況下(xià)對(duì)800℃高(gāo)溫介質微(wēi)小(xiǎo)壓α​力的(de)直接測量,并且通(tōng)過對(duì)彈性敏感組件(ji >àn)等易損件(jiàn)采取專門(mén)的(de☆π♥≈)限位、加固措施,提高(gāo)了(le)抗沖擊、振動能(néng)力→±≤≠。為(wèi)了(le)在地(dì)面實驗室模拟傳感器(qì)的(↕γ£de)實際安裝測量環境,我們設計(jì)了(le)一(yī)種适用(‍"✘yòng)于高(gāo)溫微(wēi)壓力傳感器(qì)的(de)儀器(qì)校(x©∞₽iào)準實驗系統,通(tōng)過高(gāo)"♥低(dī)溫真空(kōng)試驗裝置和(hé)人(rén)機( ★©jī)軟件(jiàn)的(de)結合,為(wèi)儀器(qì)校(xiào)準提供了(le)一(y¥ ©↕ī)個(gè)穩定可(kě)靠、安全便捷的(de)實驗平台≤ Ω¥。

1、傳感器(qì)測量原理(lǐ)

(1) 微(wēi)壓力測量原理(lǐ)

高(gāo)溫微(wēi)壓力傳感器(qì)☆♥€采用(yòng)的(de)是(shì)F-P幹涉敏感原理(lǐ),根據Fabry-Perot共Ⱪ振效應,F-P共振腔反射光(guāng)的(de)波長(chá∞×¶&ng)變化(huà)與兩反射面之間(jiān)的(de←δ∞)距離(lí)呈函數(shù)關系。如(rú) ₹圖1所示,為(wèi)傳感器(qì)原理(lǐ)示意圖,感壓反射面及其支φ✔撐膜片和(hé)靜(jìng)止反射面就(jiù)構成了(le)一(yī)個(g∞£è)完整的(de)F-P共振式壓力敏感結構。根據薄α≥ ∏膜彈性形變原理(lǐ),壓力敏感膜片在外(wài)®☆®界壓力的(de)作(zuò)用(yòng)下(xià)發生(shēng)形變,從(ε‍cóng)而改變F-P腔腔長(cháng),引起幹涉譜變化(→☆huà),通(tōng)過測量幹涉光(guāng)譜,即可(kě)得(de)到(dào)作(zuò€♥)用(yòng)在壓力敏感膜上(shàng)的(de)壓力變化(h←ε✘γuà),從(cóng)而達到(dào)測量壓力的(de)目的(de)。該結構的(de)特點&σ$£是(shì)靈敏度極高(gāo),可(kě)感受兩個(gè)鏡面之間(j≠>φiān)納米級的(de)位移變化(huà),可(kě)滿足500 ± Pa微(wēi)小(xiǎo)壓力的(de)測£πδ量需要(yào)。

(2) 傳感器(qì)的(de)儀器(qì)校(xiào)準原理(lǐ)

在傳感器(qì)探頭确定的(de)情況下(x∞§ià),參數(shù)k1,k的(de)值可(kě)以通(tōng)過公式直接計(jì)算 λ←σ(suàn)求得(de),而溫度敏感系數(shù)k2以​•©✘及補償修正常數(shù)C則需要(yào)通(tōng)過校(xiào)準實驗才能β★β(néng)确定。

将被校(xiào)傳感器(qì)與壓力、溫度✔★ε标準具置于同一(yī)載荷環境,通(tōng)過标準具得(d ♥e)到(dào)壓力、溫度的(de)标準量,通( ↕tōng)過解調模塊得(de)到(dào)傳感器(qì)的(de)輸出值。将标準輸人(rén¶≤)量與被校(xiào)傳感器(qì)的(de)輸出值繪制(zhì)成傳感器(q↕±ì)的(de)校(xiào)準曲線,再根↓•據校(xiào)準數(shù)據采用(y∏↓òng)*小(xiǎo)二乘法确定傳感器(qì)的(de)工(∑☆gōng)作(zuò)直線,用(yòng)工(gōng)作(zuò)♦‍直線反映傳感器(qì)的(de)輸人(rén)和(hé)輸出之間(jiān)的(de)關系,從(✘≥cóng)而确定k2及C的(de)取值。通(tōng)過校(™₽"≠xiào)準曲線與工(gōng)作(zuò)直線的(∞✘'de)比較,可(kě)以計(jì)算(suàn)得(de)到(dào)被校(xi§'ào)傳感器(qì)的(de)靜(jìng)态基本性能(nénβδg)指标。

校(xiào)準過程中,校(xiào)準點數(shù)通(tōng)常取6~11∑®α,校(xiào)準循環次數(shù)通(tōng)常取σ‍3~5,具體(tǐ)大(dà)小(xiǎo)取決于被校(xiào)傳感器(qì)的(de)精≠$¶度和(hé)使用(yòng)要(yào)求< 。

2、校(xiào)準實驗系統設計(jì)

儀器(qì)校(xiào)準實驗系統由高(gāo)低(dī)溫真空(kōng)試驗裝置和®≈♣✔(hé)上(shàng)位機(jī)人(rén)機(jī)軟件(jiàn)組成,其中使用(y♦←>òng)壓力薄膜規和(hé)鎳鉻熱(rè)電(dià∞Ωεn)偶分(fēn)别作(zuò)為(wèi)壓力、溫度參βλ量基準,使用(yòng)解調模塊讀(dú)出被校(xiào€↔$)傳感器(qì)的(de)輸出,系統結構如(rú)圖2所示。

(1) 高(gāo)低(dī)溫真空(kōng)實驗裝置

高(gāo)低(dī)溫真空(kōng)實驗裝置是(shì)為(wèi)了(le)模拟傳感器✘₹(qì)實際測量環境而專門(mén)設計 ≥α(jì)的(de),可(kě)以實現(xiàn)壓力、溫度的(de)¶σ複合加載,由腔體(tǐ)、壓力控制(zhì)系統、溫度控制(zφ↔φ¥hì)系統和(hé)水(shuǐ)冷(lěn‌‌✘&g)循環系統等部分(fēn)組成。

1) 腔體(tǐ)結構

腔體(tǐ)是(shì)高(gāo)低(dī)溫試驗↑× 裝置的(de)核心部分(fēn),通(tōng)過隔闆分(f♦‍©ēn)為(wèi)載荷室和(hé)環境室兩個(gè)↑¶腔室。載荷室模拟傳感器(qì)前端接觸到‍ (dào)的(de)外(wài)界環境,如(rú)高(gāo)溫、近(jìn)真空(kōn₽÷∞↓g)、微(wēi)小(xiǎo)壓力,即殼體(tǐ)外(wài)表面環境;環境室模拟傳感≈←∏λ器(qì)後端的(de)工(gōng)作≠‍&(zuò)環境,也(yě)就(jiù)是(sh>✔ì)殼體(tǐ)內(nèi)部的(de)環境。腔室結構示意圖如(rú)圖3所示。

為(wèi)了(le)實現(xiàn)對(duì)載荷室溫度∑δ×、壓力的(de)複合加載,在載荷室的(de)四周放(fàng)置鎳鉻加熱(rè)闆加熱(☆γ¶&rè),并帶有(yǒu)熱(rè)屏蔽闆,使用(yòng)兩根鎳鉻熱(rè)電(↑★diàn)偶測量載荷室環境溫度,作(zuò)為(wèi)參考溫度基準。在室溫~375♥→ ✔℃的(de)範圍內(nèi),其測量精度為(wèi)±1.5℃;在375~800℃的(de)≠©Ω範圍內(nèi),其測量精度為(wèi)0.4%。通(tōng)過壓力控¶☆'制(zhì)系統調節載荷室內(nèi)環境壓力,使用("∞<yòng)MKS公司626系列壓力薄膜規作(zuò)為(wèi)參考壓力基準,其壓力測量範圍0 & ∑.2~266 Pa,測量精度0.12%。

2) 壓力控制(zhì)系統

壓力控制(zhì)系統能(néng)夠将載荷室和(hé)環境室抽至高(gāo)真空(k Ωōng)狀态,此外(wài)還(hái)可(kě)以精确調節​©載荷室內(nèi)環境壓力。它由機(jī)械泵、分(fēn)子(☆×♥zǐ)泵、限流閥、壓控儀、氣體(tǐ)流量計∏ £(jì)等部件(jiàn)組成。其中限流閥、壓控儀用(yòng)于腔室內(nèi)壓'ε¥'力的(de)精确控制(zhì),氣體(tǐ)φ>ε→流量計(jì)用(yòng)于調節補氣流量大(dà)小(xiǎo)。

系統控制(zhì)邏輯如(rú)圖4所示。壓控儀接收參數♥α(shù)設置信号,與薄膜規測量信号進行(xíng)比較,根據比較結果調節限流閥開(kα♦☆āi)度的(de)大(dà)小(xiǎo),經過不(bù)斷地(dì)調節控制σ↕§®(zhì)*終達到(dào)動态平衡,使得§→δ✘(de)載荷室內(nèi)氣壓等于設定壓力值。此外(wài),可(kě)以根據設定壓力的¥<(de)大(dà)小(xiǎo)調節補氣閥開(kāi)度大(dà)小(xiǎo),例如(rú)若ε÷要(yào)達到(dào)一(yī)個(gè)較大(dà)的(d$πe)壓力值,則可(kě)以适當增大(dà)補氣流量,使得(de)載荷室內(nèi₽&₹)氣壓更快(kuài)地(dì)上(shàng)升到(dào)設定壓力。

3) 溫度控制(zhì)系統

系統采用(yòng)鎳鉻加熱(rè)闆加熱(rè),通(tōng)過調節φ¶©加熱(rè)電(diàn)流的(de)大(dà)小(xiǎo)達到(dào)控溫的(de)目的(♠♥φ<de)。加熱(rè)電(diàn)源采用(yòng)PID控制(zhì)系統,可(kě)以使Ω'載荷室從(cóng)室溫快(kuài)速加溫到(dào)800℃,并↑↔π≈且溫度可(kě)調、控溫精确。

4) 水(shuǐ)冷(lěng)循環系統

系統配有(yǒu)水(shuǐ)冷(lěng)循環系統用(yòng)于↔&&系統整體(tǐ)的(de)冷(lěng)卻,其中載荷室配置TC WS制>±​↕(zhì)冷(lěng)循環水(shuǐ)機(jī)♥✔​,控溫範圍為(wèi)10~27℃,給腔室、 λ分(fēn)子(zǐ)泵等提供穩定的(de)制(zhì)冷(lěng)循環水($•♣shuǐ),保證設備穩定運行(xíng)。

(2) 上(shàng)位機(jī)人(rén)£β'機(jī)軟件(jiàn)

為(wèi)了(le)方便高(gāo)溫微(wēi)壓力傳感器(qì)的(d€β₽♠e)儀器(qì)校(xiào)準試驗,我們使用(yòng)FameView組态‌λ∏軟件(jiàn)編寫了(le)上(shàng)位機(jī)人(rén)機(jī↓∑≤)軟件(jiàn)。該軟件(jiàn)主要(y←≤$ào)用(yòng)于實時(shí)監控載荷室和™™≈"(hé)環境室的(de)壓力、溫度狀況,此外(wài)還(hái ↔β)具有(yǒu)數(shù)據存儲處理(lǐ)功能∏↔(néng)。軟件(jiàn)通(tōng)過RS232協議(yì)與PLC進φ™行(xíng)通(tōng)信,經由PLC控制(zhì)高(gāo)低(dī)≈φπ↔溫真空(kōng)試驗裝置各個(gè)組件(jiàn),實現(xiàn)了(le)<→通(tōng)過計(jì)算(suàn)機(jī)遠(yu®∑ǎn)程控制(zhì)的(de)目的(de)。♣ ∏

圖5為(wèi)該軟件(jiàn)載荷室壓力監控界面,當壓力設定增大(dà)時(shí),由于 >>®需要(yào)補氣故響應速度較慢(màn),相(xiàng)比之下(xià),壓力設定減小 '✘(xiǎo)時(shí)響應迅速。

我們選用(yòng)的(de)PLC為(wèi)台達公司的(de)DVP32EH,附加8路(lù≠✘≥)AD和(hé)DA模塊,使用(yòng)Delta_ WPLSoft_ V€÷2.33軟件(jiàn)編寫PLC控制(zhì)程序,程序內(nèi)容包括PLC對(d₩δ☆↔uì)高(gāo)低(dī)溫試驗裝置各個(gè)組件(jiàn)例如(rú®©α)抽氣泵、閥門(mén)、加熱(rè)開(kāi)關等的(de)邏♠ ₩輯控制(zhì),數(shù)據的(de)讀(dú)出和(hé)寫人(rén)以及β♠ 其他(tā)相(xiàng)關功能(néng)。

3、傳感器(qì)的(de)儀器(qì)校(xiàoδ₹)準實驗

(1) 儀器(qì)校(xiào)準實驗過程

傳感器(qì)的(de)校(xiào)準實驗是(shì)為(wèi)了(le)測Ω☆✔試高(gāo)溫微(wēi)壓力傳感器(qì)™φ在不(bù)同溫度環境下(xià),尤其是(shì)在高(× gāo)溫環境下(xià)能(néng)否保持較高(gāo)的(de)測量精度和(hé)重♦•複性,進而根據實驗數(shù)據對(duì)傳感器(qì)進行(x∏ ≠íng)儀器(qì)校(xiào)準,使得(de)傳感器(qì)能(néng)夠在溫度變$₹化(huà)的(de)環境下(xià)保持較高(gāo≥​)的(de)測量精度和(hé)測量重複性 ♦♠。

儀器(qì)校(xiào)準實驗按照(zhào)校(∑÷σ®xiào)準原理(lǐ)可(kě)分(fēn)為(wèi)以下(xià)¥‍β環節:①測試傳感器(qì)在不(bù)同溫度下(xià)的(d ♣$e)壓力敏感性能(néng);②測試傳感₹ εα器(qì)輸出與環境溫度之間(jiān)的(de)關系,并以此對(duì)✔λ←傳感器(qì)進行(xíng)校(xiào)準,對(duì)溫度的(de)← 影(yǐng)響作(zuò)出補償;③壓力、溫度複合加∏δ₩✔載試驗,測試校(xiào)準後的(de)傳感器(qì)能(néng)否滿足實際的(de)應用§☆₩σ(yòng)需求。

如(rú)果不(bù)符合要(yào)求則需要(yào)重新校(xiào)準,♥‌$↕結果仍不(bù)理(lǐ)想則表明(míng)傳感器(qì)自(zì←δ)身(shēn)存在缺陷,需要(yào)進一(yī)步優化(huà)設計(jì)。

由上(shàng)述可(kě)知(zhī),傳感器(qì)的(de)校'∏(xiào)準需要(yào)大(dà)量的♦™δ(de)實驗,受篇幅所限在此不(bù)多(÷ε≠duō)贅述,故這(zhè)裡(lǐ)隻測試傳感器(qì)在不(bù)同™™ 溫度下(xià)的(de)壓力敏感性能(néng),目的✘∑σ(de)是(shì)驗證該儀器(qì)校‌​←©(xiào)準實驗系統是(shì)否達到(dào)期望的(de)使用(yòng)要(yào)求。¶φ 

(2) 實驗結果

調節載荷室溫度至30℃,保持溫度恒定的(de)同時(shí)逐步增大(dà)壓力,記錄β→反射光(guāng)波長(cháng),反複測量3次;提高(gāo)載荷室腔內(nèi)溫度至2"♦50℃,重複上(shàng)述實驗。實驗數(shù πδ)據如(rú)表1所示。

經過計(jì)算(suàn),在30℃溫度環境下(xià),傳¥≠感器(qì)非線性為(wèi)1.77%,重複性為(wèi)1→​∏.31%,綜合精度為(wèi)3.07%;而在250β≤℃高(gāo)溫環境下(xià),傳感器(qì)非線性為(wèi)3.05%,σ$重複性為(wèi)2.07,綜合精度為(wèi)5.12%。以上(shàng)結果表明(míng£↓),溫度升高(gāo)對(duì)實驗傳感器(qì)的(de)輸出有(yǒu)較明(mí→€®ng)顯的(de)影(yǐng)響,整體(tǐ)性能(néng)也(yě)有(yǒu)所→←→降低(dī)。此外(wài),通(tōng)過此次儀器(qì)校(x£γδiào)準實驗,很(hěn)好(hǎo)地(dì)驗證了÷∏∑≤(le)該校(xiào)準實驗系統的(de)使用(yòng)性能(néng),在實₽ ε驗過程中,載荷室內(nèi)溫度能(néng)長(cháng)時£© ∞(shí)間(jiān)穩定在設定值±2℃的(de)範圍內(n∞λβèi),壓力調節方便可(kě)靠,能(néng)σ"較快(kuài)地(dì)達到(dào)設定氣壓值,并穩定在設定值10.2Pa→β ¶的(de)範圍內(nèi)。

綜上(shàng)所述,該儀器(qì)校(xiào)準實驗系↑≠↔統使此次校(xiào)準實驗進行(xíng)順利,很(hěn)好(hǎo)地(dì)滿'★足了(le)實際需求,達到(dào)了(le)設計(¥₩jì)要(yào)求。

4、結束語

通(tōng)過分(fēn)析高(gāo)溫光(guāng)纖微(wē☆™δi)壓力傳感器(qì)的(de)測量結構和(hé)∑≤ ε儀器(qì)校(xiào)準原理(lǐ),設計(jì)了(le)一(yδ✔↕♦ī)套基于高(gāo)低(dī)溫試驗裝置和(hé)上(shàng)位機(j≥σ×ī)人(rén)機(jī)軟件(jiàn)的(de)校(xiào)準實驗系統,在地(d←÷÷✔ì)面實驗室模拟了(le)傳感器(qì)實際測壓環境,實現(xiàn)☆₽了(le)傳感器(qì)在高(gāo)溫微(wēi)小(xiǎ≠ λo)壓力環境下(xià)的(de)校(xiàγ₩♥o)準。實驗結果表明(míng),該儀器(qì✘‍)校(xiào)準實驗系統能(néng)很(hěn)好>≤(hǎo)地(dì)滿足測試需求,是(shì)★§±>一(yī)個(gè)穩定可(kě)靠、安全便捷的(de)測試平台,為(wè≥‌i)下(xià)一(yī)步傳感器(qì)的(de)儀器(qì)校(xiào)準工>≠(gōng)作(zuò)提供了(le)保障。

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